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小型CVD管式炉
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SGM-TF60-12真空管式CVD

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:SGM-TF60-12真空管式CVD
  • 电炉类型:管式炉
  • 电炉品牌:西格马小型CVD管式炉
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:1200℃
  • 厂家电话:

洛阳西格马电炉

SGM-TF60-12-真空管式CVD为实验室用小型CVD管式炉,小型CVD管式炉有TF60-12管式炉、真空系统、3路混气系统组成。

小型CVD管式炉主要为高等院校、科研院所、工厂企业等行业实验室提供小型CVD管式炉高温热处理环境,可应用于金属材料、石墨材料、锂电材料、晶体材料等新材料领域。

结构特点

1、一体式结构,美观、大方,占用空间小。

2、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,新型拼装结构,高温不变形、坚固耐用

3、 炉管采用石英管或者刚玉管,不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出烧结样品

4、 升温速度快,从室温升到1000摄氏度,一般需要15-30分钟

5、 采用厦门宇电或日本岛电温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃

6、 控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30个程序段

7、 电子元器件均采用产品,带有漏电保护功能,安全可靠

8、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作

9、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成

10、气路系统可选择一路或三路气体质量流量计,带混气系统也可单进单出,通入气体数字精度控制,流量开关和流量时间等程序可通过触摸屏自动控制,实现气路控制无人值守;精度:±1%F.S,响应时间:≤4sec

11、真空系统采用一台旋片式真空泵或真空机组,真空度测量采用数字复合真空计也可选择皮拉尼真空计,测量仪表集成在温控面板上,方便易操作

小型真空管式CVD

型号

SGM-TF40-12

SGM-TF60-12

SGM-TF80-12

SGM-TF100-12

SGM-TF120-12

炉管尺寸

Φ40x800mm

Φ60x800mm

Φ80x800mm

Φ100x800mm

Φ120x800mm

额定温度

1200℃

工作温度

1100℃

加热区尺寸

300mm

电源电压

220V/1.8KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/5KW

加热元件

HRE合金电阻丝

炉膛材料

湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料

炉管材料

高纯石英管

控温精度

±1℃

测温元件

K型热电偶

温控仪表

厦门宇电智能微电脑PID温控仪表,SCR/SSR控制,PID参数自整定功能;可编程序30个时段,程序升温、程序保温、程序降温

升温速度

1-25℃/min自由调节

炉体结构

炉膛温控一体式结构,炉膛开合式设计;双层外壳,空气循环隔热

密封性能

炉管两端装有304不锈钢快捷法兰,配套高温 PTFE 垫圈,可在真空下进行工作, 密封真空度≤0.0001pa

气氛性能

法兰两端有进气口和出气口,压力表装在金属法兰上,精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气、氢气等保护气体

真空获得

配套立的真空获得系统,系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计,包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件,系统真空度≤5pa,还可以选择分子泵机组

气路系统

配套立的气路系统,系统有三路浮子流量计组成,有混气室,可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统.

浮子流量计量程:60-600ml/min;也可选择自动质量流量计系统,控制精度±1.5%FS,重复精度±0.2%FS,

量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM

设备保护

模块化控制,对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号,并自动完成保护动作

安全保护

在设备上装有空开断路器,如发生短路漏电情况时会自动弹开,能保护设备和操作人员的安全

外壳

质冷轧钢板数控机床下料加工,经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉

标准配置

1、炉体一台   2、温度控制器一台 3、电源线3米 

 4、热电偶一支 5、说明书一份  6、炉钩一把  

7、高温手套一双   8、管堵二个   9、密封法兰一套

小型CVD管式炉价格需要根据详细参数确定,可与小型CVD管式炉厂家详细沟通

联系SGM-TF60-12真空管式CVD厂家电话,沟通SGM-TF60-12真空管式CVD详细参数和SGM-TF60-12真空管式CVD价格

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