TS-PE
文章出处：洛阳人工智能箱式电阻炉厂家-赛特瑞 人气：104 发表时间：2020-05-15
PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有点，工艺流程简单。
射频电源主要技术参数如下：
电源：单相50/60Hz220v±10%
加热（功率）电源：2.5KW，25A
控制柜电源空气开关：32A空气开关
薄膜生长室温度：室温~1200℃
射频频率：13.56MHz
射频功率输出范围：5~500W
可以选配射频电源
此文关键词： TS-PE
故障维修
- 2000℃真空碳管烧结炉|气氛碳管炉
- 高校用小型真空熔炼炉\小型真空熔炼炉
- 高温台车炉\台车式电阻炉Bogie hearth resistance furnace
- 卧式炭化炉：HC高热膜碳化炉
- VC散热板烧结炉\热管VC烧结炉
- 碳化硅烧结炉|2200度超高温烧结炉
- 高温石墨化炉\真空石墨烧结炉
- 2100度真空钨丝炉\2200℃超高真空钨丝烧结炉
操作说明
- 多工位真空管式炉\多工位管式高温炉
- 1800℃管式炉\高温管式电阻炉
- SIGMA Single Zone Tube:1000℃-1800℃
- 2300度真空热压烧结炉Vacuum hot pressing sintering furnace
- 1400℃真空热压烧结炉\真空热压炉
- 智能高温电炉
- 高温箱式热处理炉
- 小型转底炉rotary hearth furnace
